為滿足φ300mm園片，<0.15mm線寬的加工要求，近年來對AMC控制，重點在以下三方面開展工作：
    
    （1）精確的測量技術及標準測試方法的建立。因為這是掌握AMC控制的基礎，必須先行；
    
    （2）按今后IC的生產要求，生產線的設備采用微環境隔離，各設備間園片的傳送采用前開式標準片盒（FOUPs）系統，對園片進行隔離。因此，早已對設備、FOUPs系統及微環境所用的材料要求不釋放及吸附有關懸浮分子污染物的問題以及對此污染物的去除措施進行研發，并不斷改進中；
    
    （3）控制AMC的過濾器。
    
    近年來尤其是近2～3年來，對控制AMC過濾器的開發及推出有少進展；
    
    A.不釋放AMC物質的HEPA/ULPA;
    
    a.低硼超細玻璃纖維過濾器，現已在亞洲及歐洲的IC廠使用較多；
    
    b.多孔聚四氟乙稀（ePTFE）過濾器，為薄膜結構，價格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在開發下一代的。
    
    B.化學過濾器
    
    目前已推出的化學過濾器主要是：
    
    a.活性炭過濾器，大多數是晶粒狀的，有盤片式、蜂窩式等；亦已有活性炭纖維過濾器，具有吸附速度快的特點，價格尚較高；還已有晶粒與纖維粘合的過濾器。
    
    b無紡合成織物上浸漬各種功能晶粒（如活性炭、活性鋁，但主要是活性炭）以吸附AMC物質。
    
    至今，據報道，φ300mm園片加工除二條試驗生產線外，已有四條生產線（德國一條、美國一條、我國臺灣二條）開始運轉，對AMC的控制情況，當然不詳，但潔凈室環境為ISO5～6級，對潔凈室設計較簡單些。可以看到，今后IC生產，其生產環境的污染控制重點必然轉到工藝設備及園片傳、存放系統的研發及制造上。